・FEI製 Tecnai G2F30

・日本電子製 JEM-2100

・日立ハイテクノロジーズ製 S-5500

・Nanofactory Instruments AB製 TEM-nanoindenter

・Nanofactory Instruments AB製 SEM holder

・日立ハイテクノロジーズ製 FB-2200

・AFM：島津製作所製 SPM-9500J
・微小負荷装置：Hysitron製 Triboscope

・エイコー製

・レーザードップラー変位計：
　小野測器製 LV-1720
・ファンクションジェネレータ：
　NF回路設計製 DF1906
・オシロスコープ：
　GW INSTEK製 GDS-1022
・制御プログラム：
　National Instruments製 LabView

・キーエンス製 VHX-2000

・ヴェールミー製 Tiny SEM M3-i

・日立ハイテクノロジーズ製 Gentle mill-Hi
　（Linda社 Gentle mill）

・ULVAC製 MILA-3000

・ヤマト科学製 IW222

・Eiko製 IB-3

・島津製作所製 MCTE-500